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ALN顆粒

窒化アルミ顆粒は窒化アルミ粉末からスプレー造粒され、粘著剤及び焼結(jié)助剤を含み、直接プレス成形できる。廈門科技鉅瓷の窒化アルミ顆粒は良好な流動性、優(yōu)れた焼結(jié)性、および高純度、高強度の特徴を持って、窒化アルミヒータ/靜電吸盤/エッチング保護カバー/ホットプレス窒化アルミセラミックスなどの各種半導(dǎo)體デバイス部品を作製するために用いられる。

連絡(luò)先

製品の特徴

高純度

High Purity

1

直接プレス成形可能

Ready for press

2

高強度

High strength

3

優(yōu)れた焼結(jié)性

High sintering activity

4

高い流動性

High fluidity

5

技術(shù)參數(shù)

項目Item

GS-80

GS-B

KS-80

平均粒徑Mean particle size (μm)

70~120

70~120

60~100

顆粒形狀Particle shape

球形

球形

球形

流動性Fluidity(s/50g)

<90

<90

<90

Y?O? (wt%)

~5

<0.1

~5

雜質(zhì)含量Impurity

Ca (ppm)

<300

<300

<300

Si (ppm)

<100

<100

<200

Fe (ppm)

<30

<30

<100

松裝密度Bulk density(g/cm3)

1.0~1.2

1.0~1.2

1.0~1.2

振實密度Tap density(g/cm3)

1.0~1.3

1.0~1.3

1.0~1.3

生坯密度Green density (g/cm3)

2.05~2.10

2.0~2.05

2.05~2.10

成形工藝



脫脂工藝


200℃前3℃/ min ,400℃前2℃/ min,500℃前5℃/ min ,保溫2小時。

燒結(jié)溫度1830~1900℃,保溫時間3~5 hrs,流動氮氣,0.1MPa

產(chǎn)品應(yīng)用

壓制陶瓷原料:加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷


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