窒化アルミ顆粒は窒化アルミ粉末からスプレー造粒され、粘著剤及び焼結(jié)助剤を含み、直接プレス成形できる。廈門科技鉅瓷の窒化アルミ顆粒は良好な流動性、優(yōu)れた焼結(jié)性、および高純度、高強度の特徴を持って、窒化アルミヒータ/靜電吸盤/エッチング保護カバー/ホットプレス窒化アルミセラミックスなどの各種半導(dǎo)體デバイス部品を作製するために用いられる。
製品の特徴
高純度
High Purity
直接プレス成形可能
Ready for press
高強度
High strength
優(yōu)れた焼結(jié)性
High sintering activity
高い流動性
High fluidity
技術(shù)參數(shù)

項目Item | GS-80 | GS-B | KS-80 | |
平均粒徑Mean particle size (μm) | 70~120 | 70~120 | 60~100 | |
顆粒形狀Particle shape | 球形 | 球形 | 球形 | |
流動性Fluidity(s/50g) | <90 | <90 | <90 | |
Y?O? (wt%) | ~5 | <0.1 | ~5 | |
雜質(zhì)含量Impurity | Ca (ppm) | <300 | <300 | <300 |
Si (ppm) | <100 | <100 | <200 | |
Fe (ppm) | <30 | <30 | <100 | |
松裝密度Bulk density(g/cm3) | 1.0~1.2 | 1.0~1.2 | 1.0~1.2 | |
振實密度Tap density(g/cm3) | 1.0~1.3 | 1.0~1.3 | 1.0~1.3 | |
生坯密度Green density (g/cm3) | 2.05~2.10 | 2.0~2.05 | 2.05~2.10 | |
成形工藝

脫脂工藝

200℃前3℃/ min ,400℃前2℃/ min,500℃前5℃/ min ,保溫2小時。
燒結(jié)溫度1830~1900℃,保溫時間3~5 hrs,流動氮氣,0.1MPa
產(chǎn)品應(yīng)用
壓制陶瓷原料:加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷

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